सिलिकॉन वेफर ग्रेड कैसे विभाजित किए जाते हैं?

Mar 19, 2024

सिलिकॉन वेफर ग्रेड:
एमजी-Si → SeG-Si → SoG-Si
शोधन निम्नलिखित प्रक्रिया से गुजरता है:
क्वार्ट्ज रेत → धातुकर्म ग्रेड सिलिकॉन → शोधन और परिष्करण → जमा पॉलीक्रिस्टलाइन सिलिकॉन सिल्लियां → मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन → सिलिकॉन वेफर कटिंग।
धातुकर्म ग्रेड सिलिकॉन एमजी-एसआई
सिलिकॉन को परिष्कृत करने के लिए कच्चा माल SiO2 है, जो मुख्य रूप से रेत से बना होता है। वर्तमान में, SiO2 की क्रिस्टलीय चट्टान, अर्थात् चूना पत्थर, को एक बड़ी इलेक्ट्रिक आर्क भट्टी में कार्बन के साथ कम किया जाता है: SiO2+2C→Si+2CO
इसे नियमित रूप से भट्ठी से बाहर निकाला जाता है, ऑक्सीजन और ऑक्सीजन-क्लोरीन मिश्रित गैस से शुद्ध किया जाता है, फिर एक उथले टैंक में डाला जाता है ताकि वह जम जाए, और फिर इसे ब्लॉकों में पीस दिया जाता है।
एमजी-Si को SeG-Si में शुद्ध किया जाता है
मानक शोधन विधि है: सीमेंस.
एमजी-एसआई को वाष्पशील यौगिकों में परिवर्तित किया जाता है, जिन्हें फिर आंशिक आसवन द्वारा संघनित और शुद्ध किया जाता है।
प्रक्रिया विधि: सूक्ष्म रूप से विभाजित MG-Si को द्रव में बदलने के लिए HCl का उपयोग करें
प्रतिक्रिया को तेज करने के लिए उत्प्रेरक का उपयोग करें: Si+3Hcl→SiHCl3+H2
एमजी-Si →SiHCl3 सिलिकॉन औद्योगिक कच्चे माल
एमजी-Si गर्म करने योग्य मिश्रित गैस को निकालने के लिए, SiHCl3 को H2 द्वारा कम किया जाता है, और सिलिकॉन को बारीक दाने वाले पॉलीसिलिकॉन के रूप में इलेक्ट्रिक हीटिंग रॉड पर जमा किया जाता है, जैसा कि दाईं ओर दिखाया गया है: SiHCl3+H2 → Si+3HCl
SeG-Si को SoG-Si में शुद्ध किया गया
SeG-Si पॉलीसिलिकॉन को पिघलाया जाता है, और उपकरण के लिए आवश्यक ट्रेस डोपेंट को मिलाया जाता है, जो आमतौर पर बोरॉन (P-प्रकार डोपेंट) होता है।
बड़े बेलनाकार एकल क्रिस्टल सिलिकॉन छड़ को बीज क्रिस्टल का उपयोग करके पिघले हुए सिलिकॉन से बाहर निकाला जा सकता है जब तापमान को सावधानीपूर्वक नियंत्रित किया जा सकता है। व्यास 125 सेमी से अधिक है और लंबाई 1 ~ 2 मीटर है।

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