सिलिकॉन माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स वेफर

सिलिकॉन माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स वेफर

इस सिलिकॉन सब्सट्रेट श्रृंखला को अंतिम भौतिक और विद्युत आधार प्रदान करने के लिए सावधानीपूर्वक इंजीनियर किया गया हैअनुप्रयोग-विशिष्ट एकीकृत सर्किट (एएसआईसी)और असतत बिजली उपकरण। से पूर्ण स्पेक्ट्रम को कवर करना2 इंच (50 मिमी) से 12 इंच (300 मिमी), हमारी सामग्री वास्तुकला उपसतह क्षति और जाली अनियमितताओं को खत्म करने पर ध्यान केंद्रित करती है, यह सुनिश्चित करती है कि वेफर उच्च {{0} ऊर्जा आयन आरोपण और बहु ​​{{1} परत एपिटैक्सियल विकास के दौरान एक प्राचीन मेजबान के रूप में कार्य करता है।

मुख्य तकनीकी लाभ:

थर्मल-यांत्रिक लचीलापन:सबसे अधिक सज़ा से बचने के लिए डिज़ाइन किया गयाथर्मल बजट, ये सब्सट्रेट उच्च तापमान ऑक्सीकरण और तीव्र थर्मल एनीलिंग (आरटीए) के बार-बार चक्र के माध्यम से अपनी संरचनात्मक अखंडता और समतलता बनाए रखते हैं। यह लचीलापन जाली के खिसकने और मुड़ने से रोकता है, उच्च{{3}घनत्व तर्क के लिए उप-{2}माइक्रोन संरेखण सटीकता सुनिश्चित करता है औरपावर आईसी (आईजीबीटी/एमओएसएफईटी)निर्माण.

उन्नत सतह आकृति विज्ञान:प्रत्येक वेफर स्वामित्व से गुजरता हैरासायनिक-यांत्रिक समतलीकरण (सीएमपी)अत्यंत कम सतह खुरदरापन और अनुकूलित हाइड्रोफोबिसिटी प्राप्त करने के लिए। यह बेहतर आकारिकी फोटोलिथोग्राफी के लिए एक व्यापक प्रक्रिया विंडो की सुविधा प्रदान करती है, जिससे उच्च निष्ठा और कम किनारे {{2}बीड हस्तक्षेप के साथ महत्वपूर्ण विशेषताओं के निर्माण की अनुमति मिलती है।

रणनीतिक बैच तुल्यकालन:वैश्विक फाउंड्रीज़ की निरंतर विनिर्माण आवश्यकताओं का समर्थन करने के लिए, हम कार्यान्वयन करते हैंउच्च परिशुद्धता डोपिंग नियंत्रणऔर ऑक्सीजन/कार्बन थ्रेशोल्ड प्रबंधन। यह सिंक्रनाइज़ेशन यह सुनिश्चित करता है कि प्रतिरोधकता प्रोफाइल कई उत्पादन रनों में समान रहे, सीधे स्थिर थ्रेशोल्ड वोल्टेज में अनुवादित और बढ़ाया गयावेफ़र-स्तर की उपज (WLY)औद्योगिक और ऑटोमोटिव -ग्रेड इलेक्ट्रॉनिक्स के लिए।

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